Mikrooptiken


Multi-Photonenpolymerisation mit Hilfe von Nanoscribes Direktem Laserschreiben erlaubt die Fabrikation von komplexen und reproduzierbaren 2,5D Strukturen. Polymere Mikrooptiken können als Master zum Abformen oder zur Strukturübertragung benutzt werden. Der Hauptvorzug verglichen mit der 2,5D Graustufenlithographie oder der 2D UV-Belichtung und nachfolgenden Reflowtechniken ist klar:

Beliebig komplex geformte Gebilde können in einem einzigen Prozessschritt erzeugt werden – seien es refraktive Optiken wie Linsenarrays, diffraktive Optiken wie Fresnellinsen oder sogar übereinander gestapelte Mikrolinsen. Zusätzlich können Negativlacke benutzt werden, die im Vergleich zu Positivlacken weniger empfindlich auf den Entwicklungsprozess reagieren. Damit wird eine hohe Reproduzierbarkeit für den gesamten Prozess gewährleistet.

Darüber hinaus können Mikrooptiken von bis zu mehreren hundert Mikrometern Höhe bei optimaler Auflösung fabriziert werden. Im Folgenden finden Sie eine Galerie von Nanostrukturen, die mit Hilfe unseres 3D Laser-Lithografiesystems hergestellt wurden. Durch das Klicken auf die Vorschaubilder öffnet sich eine detaillierte Ansicht. Bitte beachten Sie, dass die Bildbeschreibungen nur auf Englisch verfügbar sind.

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Anwendungsbeispiele Micro-Optics

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