Technologie


Die Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Mikro- und Nanostrukturen in fotosensitiven Materialien basiert auf dem direkten Laserschreiben, d.h. einem nichtlinearen Zwei-Photonen-Absorptionsprozess. Viele Fotolacke die unter Einfluss von UV-Licht aushärten zeigen eine ähnliche chemische Reaktion, wenn zwei Photonen aus dem nahinfraroten Lichtspektrum simultan absorbiert werden. Für das Auftreten dieses Effekts ist eine ausreichend hohe Lichtintensität nötig, die durch Ultrakurzpulslaser bereitgestellt werden kann. Das Laserlicht wird in den Fotolack fokussiert und die Polymerisation ist lokal auf den Bereich des Fokusvolumens beschränkt. Dieser Bereich der Polymerisation wird als Voxel, ein Pixel in 3D, bezeichnet.


Additive Fertigung auf der Mikroskala

Der Effekt der Zwei-Photonen-Polymerisation wurde erstmals 1965 durch Pao und Rentzepis* untersucht und hat sich seitdem zu einem vielseiten Werkzeug für die Mikrofabrikation entwickelt. Mikro- und mesoskalige Teile mit einer hohen Komplexität in Bezug auf Form und Funktion können damit hergestellt werden. Lesen Sie mehr »


Maskenlose Lithografie

Multiphotonen-Lithografie ermöglicht nicht nur additive Fertigung mit Negativlacken, sondern auch die subtraktive Fertigung mit Positivlacken. Hier wird durch die nichtlineare Absorption lokal eine "Depolymerization" des Materials erreicht. Diese Bereiche können dann in einem Entwicklerbad einfach weggewaschen werden. Lesen Sie mehr»


Alles beginnt mit Polymer

Für viele Anwendungsbereiche in Wissenschaft und Industrie sind die Polymere, die direkt mit der Multiphotonen-Polymerisation strukturiert werden können, bereits das ideale Material. Jedoch gibt es auch Anwendungen, die spezielle Materialansprüche haben, welche nicht durch Polymere bedient werden können. In diesen Fällen besteht die Möglichkeit durch verschiedene Abform- und Replikationstechniken die 3D Strukturen in Metalle, Silizium oder PDMS abzubilden.
Die Vielfältigkeit dieser Strukturierungstechnologie macht sie zum wertvollen Werkzeug für wissenschaftliche und industrielle Anwendungen. Durch die Zusammenarbeit mit Partnern aus der Industrie im Rahmen von Förderprojekten, stimmt Nanoscribe die Möglichkeiten der Technologie mit den Bedürfnissen der Industrie ab. Lesen Sie mehr »


Referenzen