Additive Fertigung


Mit Hilfe der Multiphotonen-Polymerisation können hochauflösende 3D Strukturen in fotosensitiven Materialien hergestellt werden. Die Auflösung des Verfahrens, d.h. die Voxelgröße, wird hauptsächlich durch die Größe des Laserfokus im Material sowie der Laserleistung bestimmt. Durch die Verwendung fokussierender Optiken mit einer hohen numerischen Apertur können sehr kleine Voxel mit Abmessungen im Submikrometerbereich erreicht werden. Um den Voxel relativ zum Substrat zu verfahren und so die 3D Struktur aufzubauen, kommen zwei Verfahren zum Einsatz. Bei der fixed-beam moving-substrate (FBMS) Methode wird das Substrat durch eine hochpräzise Positioniereinheit relativ zu der fokussierenden Optik und der damit ruhenden Fokusposition verfahren. Die Positionierung wird hier häufig durch Piezoaktuatoren gesteuert, wodurch eine sehr präzise Fokustrajektorie gewährleistet wird. Beim moving-beam fixed-substrate  (MBFS) Verfahren dagegen wird der Laserfokus in der Ebene des Substrats durch Galvanospiegel abgelenkt und die vertikale Substratbewegung durch Piezoaktuatoren gesteuert. Durch diesen Lage-für-Lage Strukturierungsprozess werden sehr hohe Fertigungsgeschwindigkeiten ermöglicht. Auf der Liste der kompatiblen Materialien, die von Nanoscribe getestet wurden, stehen SU-8Ormocomp und natürlich die IP Lacke von Nanoscribe.

meso-scala_web.jpgVon der Mikro- bis Mesoskala: Diese Gitterwürfel wurden alle mit Hilfe des Photonic Professional GT hergestellt, um die Vielseitigkeit und Skalierbarkeit des Fertigungsprozesses zu demonstrieren.