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3D-Mikrodruck erhöht Auslastung in Reinraum-Einrichtungen

28. Juni, 2018

Wissenschaftler der Harvard University bei der Installation des Photonic Professional GT im Jahr 2015.

Mit dem 3D-Mikrodrucker Photonic Professional GT erhalten Forscher in Reinraum-Einrichtungen Zugang zu einer sehr vielseitigen 3D-Druck-Plattform für die Mikro- und Nanolithographie. Dies ebnet den Weg für Technologieentwicklungen, die mit herkömmlichen Methoden schwer oder schlichtweg unmöglich wären.

Doktor Jiangdong Deng, leitender Wissenschaftler, Reinraum-Manager und stellvertretender Direktor des Center for Nanoscale Systems (CNS) an der Harvard University: „Am Harvard Center for Nanoscale Systems haben wir sehr viele Lithografie-Techniken im Haus. Nanoscribes 3D-Drucker allerdings haben das einzigartige Merkmal der dreidimensionalen Fabrikation - hier können andere konventionelle Lithografie-Systeme nicht mithalten. Auch die hohe Auflösung übertrifft die Leistung der meisten konventionellen Fotolithografiesysteme. Unser Photonic Professional GT ist stark ausgelastet. Die durchschnittliche Geräte-Nutzung liegt bei etwa 300 Stunden jeden Monat im Jahr 2017. Wir haben bereits mehr als 100 User aus mehr als 20 Forschungsgruppen im Umgang mit dem Gerät geschult.“

Inzwischen liegt die durchschnittliche Geräte-Auslastung des Photonic Professional GT am CNS bei etwa 600 Stunden monatlich. Reinräume gewinnen mehr und mehr Wissenschaftler aus externen Universitäten sowie der Industrie als neue Nutzer dieser revolutionären Instrumente. Nanoscribe Systeme bieten bei enormer Designfreiheit eine 100mal höhere Präzision als die Stereolithografie sowie eine Auflösung, die zwischen der der Elektronenstrahl-Lithografie und UV-Fotolithografie liegt. Damit ergänzen sie die bestehende Instrumenten-Vielfalt und ermöglichen zügige Innovation in Reinräumen.

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